1. Fullkomið lofttæmisstig ætingarhólfs: Minna en eða jafnt og 9.0×10-5Pa;
2. Ætsefni: kísill, kvars, III.-V efnasambönd, keramik og ýmsir málmar, harðar filmur sem ekki eru úr málmi o.s.frv.;
3. Ætingarhraði: Stærra en eða jafnt og 10 nm ~ 200 nm / mín (fer eftir tilteknu ætarefni og ferli);
4. Jón uppspretta: Φ150mm þvermál hringlaga DC jóngjafi;
5. Ar+ jónaorkusvið: 100~1000 eV;
6. Þéttleiki jóna geisla: 0~1 mA/cm2.